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NanoMap-D

NanoMap-D台阶仪是一种采用金刚石探针在可控微小载荷下接触样品表面,并按照一定速度对样品表面扫描的计量型设备。通过扫描的轮廓曲线可以测出表面薄膜厚度、沟槽深度、粗糙度、应力等物理量。

产品特点
应用领域
产品参数
产品特点
product feature

独有的集成稳定技术

无需任何防震系统

真实纳米量级测量

出色的测量重复性

自动探索样品表面
最高分辨率0.1nm
最大测量范围1000um
最小接触力0.01mg

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应用领域
application area

半导体薄膜

光学薄膜

OLED薄膜

光伏电池薄膜

精密抛光表面
MEMS结构表面
划痕、磨痕深度

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产品参数
product parameter

载荷接触力范围:0.01~100mg

视觉系统:实时全彩色,4级放大

垂直分辨率:0.1nm

垂直重复性:0.5nm(1 Sigema @1um)

最大垂直测量范围:1000um

最大扫描速度:5mm/s

样品托盘:150mm

样品移动范围:150mmX150mm

最大样本高度:50mm

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