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NanoMap-LS

NanoMap-LS是一款自动三维扫描探针轮廓仪。可广泛的应用于材料科学、薄膜涂层、生物、化工、石油、 微电子、MEMS、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具的材料研发和开发。

产品特点
应用领域
产品参数
产品特点
product feature

自动样品台扫描

百微米级至厘米级的三维形貌

测量,高速、精准

AFM同款光电位移传感器

0.1nm的分辨率(纵向)
0.01mg最小可控接触力
150x150nm正方形k9纳米参考平晶
双LED长寿命光源
彩色CCD,四级放大
X,Y双方向调节倾斜角度

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应用领域
application area

材料科学

薄膜涂层

生物、化工、石油、微电子

MEMS、半导体材料、自动控制

航空航天、汽车工业、机械工具

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产品参数
product parameter

探针接触力: 0.03-100mg
纵向分辨率: 0.1nm (5um档)

纵向最大测量范围:500μm,1000um 可选
纵向最大样品高度: 50mm ,100mm 可选

横向方向分辨率: 0 .1μm(2um探针)
X Y 平台定位重现性:1μm,2μm,5μm 可选

系统动力需求:90-240V,430W
空间尺寸:  20”宽  X 22”长X 25”高

系统重量: 160lb

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