NanoMap-LT是一款采用白光干涉法，对试样表面扫描，从而得到表面微观轮廓的精密测量设备。通过扫描出的轮廓曲线可以测出表面薄膜厚度、沟槽深度、粗糙度、磨损体积、划痕面积、孔隙面积分布等物理量。
多种干涉物镜镜头
独有的集成自稳定技术
无需任何额外防震系统
真实纳米量级测量
自动探索样品表面
最高分辨率0.01nm
方便、快捷，手动移动平台
快速方便的人性化操作界面
光学、OLED半导体薄膜、膜厚测量
表面微结构三维测量
精密抛光表面、粗糙度
MEMS结构轮廓
划痕，磨痕深度、体积计算
视觉采集：1024x1024pixl
光源：长寿命全光谱LED
RMS重复性： 0.02nm
物镜镜头：10x、5x、20x、50x、100x、
最大扫描速度：125um/s
样品托盘：150mm
视场放大： 0.5x、1x、2x
样品移动范围： 56mmx75mm
倾斜范围： ±4°Y方向
北京市海淀区车道沟南里34
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江苏省 无锡市兴源北路
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