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NanoMap-LT

NanoMap-LT是一款采用白光干涉法,对试样表面扫描,从而得到表面微观轮廓的精密测量设备。通过扫描出的轮廓曲线可以测出表面薄膜厚度、沟槽深度、粗糙度、磨损体积、划痕面积、孔隙面积分布等物理量。

产品特点
应用领域
产品参数
产品特点
product feature

多种干涉物镜镜头

独有的集成自稳定技术

无需任何额外防震系统

真实纳米量级测量

自动探索样品表面
最高分辨率0.01nm
方便、快捷,手动移动平台
快速方便的人性化操作界面

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应用领域
application area

光学、OLED半导体薄膜、膜厚测量

表面微结构三维测量

精密抛光表面、粗糙度

MEMS结构轮廓

划痕,磨痕深度、体积计算

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产品参数
product parameter

视觉采集:1024x1024pixl

光源:长寿命全光谱LED

RMS重复性: 0.02nm

物镜镜头:10x、5x、20x、50x、100x、

最大扫描速度:125um/s

样品托盘:150mm

视场放大: 0.5x、1x、2x

样品移动范围: 56mmx75mm

倾斜范围: ±4°Y方向

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